| ZnO单晶声表面波谐振器传播特性的研究 |
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| 引用本文： | 姚恒斌,胡芳仁,吴成玲.ZnO单晶声表面波谐振器传播特性的研究[J].压电与声光,2015,37(4):550-553. |
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| 作者姓名： | 姚恒斌 胡芳仁 吴成玲 |
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| 作者单位： | (南京邮电大学 光电工程学院，江苏 南京 210023) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（61274121）；江苏省自然科学基金资助项目（BK2012829）；南京邮电大学人才基金资助项目（NY212007） |
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| 摘 要： | 基于有限元压电材料中表面波传播的有限元分析原理,利用有限元分析软件COMSOL对基于ZnO单晶材料的声表面波器件进行多物理域耦合建模与仿真,提取出了符合声表面波振型的对称模态变形图和反对称模态变形图。通过谐振频率分析,计算出了ZnO单晶的相速度和机电耦合系数;通过频率响应分析,得出谐振器输入导纳、阻抗与频率之间的关系图;最后讨论了叉指换能器的结构对谐振频率、反谐振频率的影响,得出输入、输出叉指换能器(IDT)的叉指电极对数越大,插入损耗值越大,信号衰减越小。
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| 关 键 词： | ZnO单晶 单端谐振器 声表面波(SAW) 叉指换能器(IDT) COMSOL |
Study on Propagation Characteristics SAW Resonator Based on ZnO Single Crystal |
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| YAO Hengbin,HU Fangren and WU Chengling.Study on Propagation Characteristics SAW Resonator Based on ZnO Single Crystal[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2015,37(4):550-553. |
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| Authors: | YAO Hengbin HU Fangren and WU Chengling |
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| Affiliation: | (College of Optoelectronic Engineering, Nanjing University of Posts of Telecommunicates, Nanjing 210023, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO single crystals one port resonator SAW IDT COMSOL |
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