溶胶-凝胶法生长(002)高度择优取向的ZnO∶Al薄膜 |
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引用本文: | 尹玉刚,沈鸿烈,楼晓波,李斌斌,高超.溶胶-凝胶法生长(002)高度择优取向的ZnO∶Al薄膜[J].功能材料,2008,39(7). |
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作者姓名: | 尹玉刚 沈鸿烈 楼晓波 李斌斌 高超 |
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作者单位: | 南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏南京210016 |
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摘 要: | 采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了高度择优取向的ZnO∶Al薄膜。用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)分别对薄膜结构和形貌进行了表征,用紫外-可见透射光谱和四探针研究了薄膜的光电性能。结果表明:制备的ZnO∶Al薄膜为六角纤锌矿结构,且具有明显的c轴择优取向;Al离子的掺杂浓度和退火温度对薄膜的结构、光电性能有一定的影响,薄膜在可见光区的光透过率为80%~95%;Al的掺杂浓度为1%样品在600℃下空气中退火1h后,薄膜最低的电阻率为7.5×10-2Ω.cm。
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关 键 词: | ZnO薄膜 c轴择优取向 溶胶-凝胶法 光透过率 |
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