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| 全自动纳米多孔材料薄膜折射率和厚度测定系统 | |
| 引用本文： | 刘菊,沈志,常胜利,杨建坤,李修建.全自动纳米多孔材料薄膜折射率和厚度测定系统[J].仪器仪表学报,2004,25(Z1):392-393. |
| 作者姓名： | 刘菊 沈志 常胜利 杨建坤 李修建 |
| 作者单位： | 国防科技大学理学院,长沙,410073 |
| 摘 要： | 由光学原理推出薄膜折射率和厚度的计算公式,利用步进电机的全自动定位来改变p光和s光下的入射角,测到纳米材料薄膜的反射率,样机测量结果显示薄膜折射率的误差＜0.1,薄膜厚度的误差＜3%. |
| 关 键 词： | 纳米多孔材料薄膜 全自动系统 反射率 折射率和厚度 |
Automatic System of Measuring Refractive Index and Thickness of Nano-meter Material Thin Films |
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