减小键合应力改进(GaAl)As可见光(740nm)激光器寿命 |
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引用本文: | T.Hayakawa
,刘维芳.减小键合应力改进(GaAl)As可见光(740nm)激光器寿命[J].半导体光电,1983(3). |
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作者姓名: | T.Hayakawa 刘维芳 |
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摘 要: | 业已证明将顶层和衬底厚度调整到一适当值,可减小因键合工艺而引起的有源层应力。激射波长为740nm的(GaAI)As V形沟道衬底内部条形激光器在50℃的寿命试验说明:采用厚顶层(~40μm)和减薄了的衬底(~80μm)使其寿命得到很大改进。
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