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杂志ISSN号
离子自组装成膜技术制备TiO2/SiO2薄膜光波导
引用本文:
李小甫,余海湖,姜德生.离子自组装成膜技术制备TiO2/SiO2薄膜光波导[J].光电子.激光,2003,14(5):478-481,488.
作者姓名:
李小甫
余海湖
姜德生
作者单位:
武汉理工大学光纤传感技术研究中心,湖北,武汉,430070
基金项目:
湖北省自然科学基金,2001j2015,
摘 要:
采用离子自组装(ISA)成膜技术制备了TiO2/SiO2复合薄膜光波导,研究了光波导的波导特性。结果表明,随着TiO2含量的增大,光波导的折射率增加,但同时光波导传输损耗增大。一般TiO2占10wt%,此时,光波导中的光损耗较低。在更高的含量范围内,必须使TiO2分散。
关 键 词:
离子自组装
ISA
成膜技术
TiO2/SiO2薄膜
光波导
折射率
传输损耗
光损耗
文章编号:
1005-0086(2003)05-0478-04
Fabrication of Composite Thin Films Optical Waveguide Based on Ionic Self-assembled Multilayers
Abstract:
Keywords:
ionic self-assembly(ISA)
nanometer thin film
optical waveguide
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