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Cr,Ni的掺杂对TiAlN基薄膜高温摩擦性能的影响
引用本文:梁慕林,王成磊,秦海青,肖乐银,梁朝杰,张可翔,谢映光,刘伟杰,杨纪洁.Cr,Ni的掺杂对TiAlN基薄膜高温摩擦性能的影响[J].材料保护,2022,55(2):22-29.
作者姓名:梁慕林  王成磊  秦海青  肖乐银  梁朝杰  张可翔  谢映光  刘伟杰  杨纪洁
作者单位:桂林电子科技大学材料科学与工程学院广西电子信息材料构效关系重点实验室电子信息材料与器件教育部工程研究中心,广西桂林 541004,中国有色桂林矿产地质研究院有限公司广西超硬材料重点实验室国家特种矿物材料工程技术研究中心,广西桂林 541004
基金项目:国家自然科学基金项目(52161011);;广西自然科学基金项目(2018GXNSFAA281244,2020GXNSFAA297060);;中国博士后科学基金资助项目(2020M681092);;广东省基础应用与研究基金(2020B1515420004);;桂林市科学研究与技术开发计划(2020010903,20210217-6);
摘    要:为了开发具有优异抗摩擦磨损性能的薄膜材料,采用多弧离子镀在4Cr13马氏体不锈钢表面沉积TiAlN薄膜,采用磁控溅射法和多弧离子镀在4Cr13表面分别沉积掺杂Cr和Cr-Ni的TiAlN薄膜.采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和维氏硬度计分析薄膜的表面形貌、物相和表面硬度,并对不同温度下磨损后的薄膜表面形貌...

关 键 词:TiAlN薄膜  掺杂  高温摩擦性能  硬度  摩擦磨损

Effect of Cr and Ni Doping on the High Temperature Friction Properties of TiAlN-Based Thin Films
LIANG Mu-lin,WANG Cheng-lei,QIN Hai-qing,XIAO Le-yin,LIANG Chao-jie,ZHANG Ke-xiang,XIE Ying-guang,LIU Wei-jie,YANG Ji-jie.Effect of Cr and Ni Doping on the High Temperature Friction Properties of TiAlN-Based Thin Films[J].Journal of Materials Protection,2022,55(2):22-29.
Authors:LIANG Mu-lin  WANG Cheng-lei  QIN Hai-qing  XIAO Le-yin  LIANG Chao-jie  ZHANG Ke-xiang  XIE Ying-guang  LIU Wei-jie  YANG Ji-jie
Abstract:
Keywords:
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