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脉冲离子镀技术镀制DLC薄膜附着力研究
引用本文:杭凌侠,徐均琪,严一心,朱昌,蔡长龙. 脉冲离子镀技术镀制DLC薄膜附着力研究[J]. 光学仪器, 2001, 0(Z1)
作者姓名:杭凌侠  徐均琪  严一心  朱昌  蔡长龙
作者单位:西安工业学院 陕西西安710032(杭凌侠,徐均琪,严一心,朱昌),西安工业学院 陕西西安710032(蔡长龙)
摘    要:从应用的角度讨论了脉冲电弧离子镀技术镀制类金刚石薄膜的附着力问题 ,指出了影响附着力的主要因素 ,提出了增加附着力的几种途径。

关 键 词:离子镀  附着力  DLC薄膜

Adhesive strength of DLC films prepared by pulse-arc plasma deposition
HANG Ling xi,XU Jun qi,YAH Yi xin,ZHU Chang,CAI Chang long. Adhesive strength of DLC films prepared by pulse-arc plasma deposition[J]. Optical Instruments, 2001, 0(Z1)
Authors:HANG Ling xi  XU Jun qi  YAH Yi xin  ZHU Chang  CAI Chang long
Abstract:Adhesive strength of diamond like carbon(DLC) films prepared by pulse arc plasma deposition be discussed, pointed out the chief factor effected on adhesive, and brought forward some ways to increase adhesive strength.
Keywords:pulse arc plasma  adhesive strength  DLC film  
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