| 硅基法布里-珀罗微腔的红光发射 |
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| 引用本文： | 但亚平,姚永昭,王燕,岳瑞峰,刘理天.硅基法布里-珀罗微腔的红光发射[J].半导体学报,2003,24(z1):60-64. |
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| 作者姓名： | 但亚平 姚永昭 王燕 岳瑞峰 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;60176031; |
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| 摘 要： | 以PECVD为制备工艺,a-SiO2∶H/a-Si∶H为分布式布拉格反射镜的多层膜,a-SiCx∶H为中间腔体发光材料,制备出垂直腔面的发光微腔.根据模拟结果确定了微腔的多层膜层数和排列顺序,并在250℃下制备出了这种微腔.将微腔样品分别在不同温度下进行退火,对退火前后的微腔进行了反射谱和光致发光谱研究.结果表明,微腔能激射出波长为743nm,半高宽为9nm的光,在350℃退火后发光性能进一步提高,而450℃退火后,性能恶化.
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| 关 键 词： | 微腔 布拉格反射镜 PECVD 退火 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)0-0060-05 |
| 修稿时间： | 2002年9月16日 |
Red Light Emission from Si-Based Fabry-Perot Microcavities |
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