10.6μm激光分束镜的研制 |
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引用本文: | 刘凤娥,付秀华,潘永刚,张静,王晓娟,陈博临.10.6μm激光分束镜的研制[J].长春理工大学学报,2013(5). |
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作者姓名: | 刘凤娥 付秀华 潘永刚 张静 王晓娟 陈博临 |
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作者单位: | 中国兵器工业标准化研究所,北京,100089;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022 |
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摘 要: | 本文针对激光分束镜的使用要求,着重介绍了10.6μm处1∶1分光且误差不超过±5%薄膜的研究与制备工艺。根据膜系设计基本理论,分别选取Ge和ZnS作为高、低折射率材料,借助膜系设计软件设计满足要求的膜层,并采用电子枪离子辅助沉积系统进行制备。通过优化镀膜工艺参数,在ZnS基底上制备了10.6μm处(透过率/反射率=49.5∶50.5)满足使用要求的薄膜,膜层具有较好的光学性能,其抗激光损伤、牢固度等性能指标均满足要求。
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关 键 词: | 薄膜 激光分束镜 离子辅助沉积 牢固度 抗激光损伤 |
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