磁控溅射NbSiN复合膜的微结构和性能 |
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引用本文: | 喻利花,苑彩云,许俊华.磁控溅射NbSiN复合膜的微结构和性能[J].材料工程,2013(7):35-39. |
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作者姓名: | 喻利花 苑彩云 许俊华 |
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作者单位: | 江苏科技大学江苏省先进焊接技术重点实验室 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(51074080);江苏省自然科学基金资助项目(BK2008240) |
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摘 要: | 用磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的NbSiN复合薄膜。采用色散能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪表征复合膜的成分、微结构、力学性能以及室温和高温摩擦磨损性能。实验结果表明:NbSiN复合膜中只存在面心立方NbN结构,且呈(200)择优取向;Si的加入使复合膜硬度得到提高,Si含量为20.29%(原子分数)时硬度达到最大值32.1GPa,随着Si含量的进一步增加,复合膜的硬度逐步降低。室温和高温摩擦磨损实验结果表明,在室温时,NbSiN复合膜的平均摩擦因数在0.60~0.68之间,波动不大;而在650℃时,随着Si含量的增加,复合膜的平均摩擦因数从0.57降至0.42;650℃时的平均摩擦因数低于室温下的平均摩擦因数与氧化物的生成有关。
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关 键 词: | NbSiN 磁控溅射 微结构 力学性能 摩擦磨损性能 |
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