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引用本文:中村优,戴玲华.东芝[J].微纳电子技术,1987(6).
作者姓名:中村优  戴玲华
摘    要:<正> 一、OEIC的展望提出OEIC的概念已近10年,以OEIC为名的各种器件和工艺的开发报告大量发表。然而OEIC与分立器件的混合集成相比,尚未达到发挥其特征的阶段。我们认为OEIC化的优点在于:(1)由于高速、高灵敏度等等


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