| 液滴外延自组织GaAs纳米结构 |
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| 引用本文： | 詹锋,黄社松,倪海桥,赵欢,熊永华,周宏余,牛智川.液滴外延自组织GaAs纳米结构[J].半导体学报,2007,28(Z1):141-144. |
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| 作者姓名： | 詹锋 黄社松 倪海桥 赵欢 熊永华 周宏余 牛智川 |
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| 作者单位： | 詹锋（北京师范大学材料科学与工程系,射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京,100875）;黄社松（中国科学院半导体研究所,半导体超晶格国家重点实验室,北京,100083）;倪海桥（中国科学院半导体研究所,半导体超晶格国家重点实验室,北京,100083）;赵欢（中国科学院半导体研究所,半导体超晶格国家重点实验室,北京,100083）;熊永华（中国科学院半导体研究所,半导体超晶格国家重点实验室,北京,100083）;周宏余（北京师范大学材料科学与工程系,射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京,100875）;牛智川（中国科学院半导体研究所,半导体超晶格国家重点实验室,北京,100083） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划和国家重大基础研究专项基金资助项目 |
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| 摘 要： | 介绍了利用液滴外延法在晶格匹配体系AlGaAs/GaAs上自组织生长几种GaAs纳米结构.实验证实Ga液滴的形貌随晶化温度和As束流的不同而发生变化,形成一些有趣的GaAs纳米结构,如量子点、量子单环、量子双环、耦合量子双环和中国古币形状等.本文对这些纳米结构的生长机制进行了讨论.
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| 关 键 词： | 液滴外延 量子点 量子单环 量子双环 |
| 文章编号： | 0253-4177(2007)S0-0141-04 |
| 修稿时间： | 2006年11月30 |
GaAs Nanostructures Formed by Self-Assembled Droplet Epitaxy |
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