| 基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造 |
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| 引用本文： | 张卫平,陈文元,陈迪,吴校生,陈晓梅,徐正福.基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造[J].中国机械工程,2003,14(5):374-376. |
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| 作者姓名： | 张卫平 陈文元 陈迪 吴校生 陈晓梅 徐正福 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,上海市,200030 |
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| 摘 要： | 使用同步辐射光和X射线掩模板的LIGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造，包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮X射线掩模板的CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制，以及微行昨齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为400μm的太阳轮、行星轮，厚度为200μm的固定内齿轮、旋转内齿轮，其齿数分别为15、11、36、39。用这些微齿轮装配成了一台模数为0.03mm、减速比为44.2、最大外径为2mm的微行星齿轮减速器，并将其成功地应用在直径为2mm的北型微马达上。
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| 关 键 词： | 设计 制造 3K－2型微行星齿轮减速器 微齿轮 LIGA 电磁型微马达 |
| 文章编号： | 1004-132X(2003)05-0374-03 |
Design and Fabrication of Micro 3K-2 Type Planetary Gear Reducer Utilizing"LIGA" Technology |
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| Zhang Weiping.Design and Fabrication of Micro 3K-2 Type Planetary Gear Reducer Utilizing"LIGA" Technology[J].China Mechanical Engineering,2003,14(5):374-376. |
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| Authors: | Zhang Weiping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro 3K-2 type planetary gear reducer micro gear LIGA micro electro magnetic motor |
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