高真空蒸发系统检漏技术浅析

介绍了几种常见的真空系统检漏方法,着重探讨了氦质谱检漏仪的原理和结构,分析了检漏仪的检漏过程,能够帮助工程人员快速有效地寻找到漏点,并给出了常见漏点的解决办法。为真空蒸发系统设备的检漏提供了有意义的借鉴,为设备维护人员提供了参考和帮助。