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| 以LaF3为基材的室温氧传感器初探 | |
| 作者姓名： | 刘志钢 张玉英 牛文成 |
| 作者单位： | 南开大学光电子所(刘志钢)，南开大学电子科学系(张玉英，牛文成) |
| 摘 要： | 固态氧敏传感器采用Si/LaF_3/Pt场效应结构([1.2]),因老化使长期稳定性变差.为此本文讨论了四方面内容:1.固体电解质膜LaF_3的制备;2.对LaF_3膜退火多晶化处理,以及表面特性的改善措施;3.有关LaF_3膜退火多晶化及活化处理技术参数;4.传感器特性的研究.并对这种室温氧传感器用做生物传感器的可能性也作了讨论. |
| 关 键 词： | 以LaF3为基材的室温氧传感器初探 |
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