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容栅传感器在三坐标精密移动平台上的应用
引用本文:吉爱红,汪炜,黄国平.容栅传感器在三坐标精密移动平台上的应用[J].传感器与微系统,2005,24(4):76-78.
作者姓名:吉爱红  汪炜  黄国平
作者单位:1. 南京航空航天大学,仿生结构与材料防护研究所,江苏,南京,210016;南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016
2. 南京航空航天大学,仿生结构与材料防护研究所,江苏,南京,210016
3. 南京航空航天大学,能源与动力学院,江苏,南京,210016
基金项目:国防科技应用基础研究基金
摘    要:三坐标精密移动平台的X,Y,Z3个方向的位移测量采用了基于容栅传感器的数显位移测量统,位移测量范围可达0~40mm,位移分辨力为0. 001mm,精度为0. 01mm。检测结果表明:系统精度高稳定性好、使用方便。

关 键 词:移动平台  容栅传感器  数字显示
文章编号:1000-9787(2005)04-0076-03
修稿时间:2004年10月23日

Application of capacitive sensors in 3D precise mobile platform
JI Ai-hong,WANG Wei,HUANG Guo-ping.Application of capacitive sensors in 3D precise mobile platform[J].Transducer and Microsystem Technology,2005,24(4):76-78.
Authors:JI Ai-hong  WANG Wei  HUANG Guo-ping
Abstract:Capacitive sensors are applicable to measure the displacement of platform in every single direction of the 3D precise mobile platform.The displacement measurement range is from 0~40mm,the accuracy is 0.01mm and the resolution is 0.001mm.The measured result indicates that the system has high accuracy,good stability and convenient use.
Keywords:mobile platform  capacitive sensor  digital display  
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