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| ITO薄膜的制备工艺及进展 | |
| 引用本文： | 王树林,夏冬林. ITO薄膜的制备工艺及进展[J]. 玻璃与搪瓷, 2004, 32(5): 51-54 |
| 作者姓名： | 王树林 夏冬林 |
| 作者单位： | 武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,湖北,武汉,430070 |
| 摘 要： | 对玻璃表面ITO膜的组成、导电机制、性质和制备工艺进行描述.介绍各种制备工艺的优点及在今后的研究中要解决的问题. |
| 关 键 词： | ITO薄膜 磁控溅射 真空沉积 溶胶-凝胶 薄膜 制备工艺 ITO Film Development Techniques 问题 研究 描述 性质 导电机制 组成 玻璃表面 |
| 文章编号： | 1000-2871(2004)05-0051-04 |
Fabrication Techniques and Development of ITO Film |
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| Abstract: | The composition, conduction mechanisms , properties and fabrication techniques of ITO thin films have been reviewed, and the advantages of different preparation technologies and problems were also introduced. |
| Keywords: | Indium tin oxide (ITO)thin films Magnetron sputtering Vacuum deposition Sol-gel |
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