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电子探针的样品台扫描成像技术
引用本文:田地,李艳平,范国传,王微,于前洋. 电子探针的样品台扫描成像技术[J]. 电子显微学报, 2000, 19(5): 743-746
作者姓名:田地  李艳平  范国传  王微  于前洋
作者单位:1. 长春科技大学信息科学与技术学院,长春,130026;中国科学院长春光学精密机械研究所,长春,130022
2. 北京信息工程学院计算机科学与技术系,北京,100101
3. 长春科技大学测试中心,长春,130026
4. 中国科学院长春光学精密机械研究所,长春,130022
摘    要:用微型计算机与电子探针控制机通讯,实现对各道波谱仪和样品台的实时控制,以及对各道定标器的数据采集;在选定的样品区域上设定采样步长和时间,边移动样品台边采集各道X射线强度;用伪彩色、三维视图和内插放大等方式显示图像,解决了低倍X射线像失真问题,观察到了辉石的隐环带等现象。

关 键 词:电子探针 图像采集 计算机 样品台 扫描成像技术

Imaging technique of electron probe in sample stage scanning mode
TIAN Di,LI Yan-ping,FAN Guo-chuan,WANG Wei,YU Qian-yang. Imaging technique of electron probe in sample stage scanning mode[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2000, 19(5): 743-746
Authors:TIAN Di  LI Yan-ping  FAN Guo-chuan  WANG Wei  YU Qian-yang
Affiliation:TIAN Di 1,4 LI Yan-ping 3 FAN Guo-chuan 2 WANG Wei 2 YU Qian-yang4
Abstract:A microcomputer is used to communicate with the controller of electron probe to control the spectrometers and the samp le stages as well as the scalers. Data of X-ray intensity are acquisited when t he sample stages are scanning in a certain step and time period. X-ray images w ere formed and shown in colors or in 3 dimensions, and have no distortion at lo w magnification. Hidden zonate phenomena of a picrite were found.
Keywords:electron probe microanalyzer  image acquisition  real time control  computer applications
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