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椭球反射镜膜厚均匀性
引用本文:熊胜明,张云洞.椭球反射镜膜厚均匀性[J].光电工程,1993,20(4):41-45.
作者姓名:熊胜明  张云洞
作者单位:中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所 成都,610209,成都,610209,成都,610209
摘    要:本文分析了椭球反射镜膜层厚度均匀性对反射率的影响,从理论上得到膜厚计算公式。根据计算的膜厚分布设计了遮蔽板,获得较好的反射特性。

关 键 词:椭球面镜  反射膜  厚度  均匀性

Coating Thickness Uniformity for Ellipsoidal Mirror
Xiong Shengming,Zhang Yundong,Guo Yonghong.Coating Thickness Uniformity for Ellipsoidal Mirror[J].Opto-Electronic Engineering,1993,20(4):41-45.
Authors:Xiong Shengming  Zhang Yundong  Guo Yonghong
Abstract:The effects of the coating thichness uniformities for the ellipsoidal mirror on thereflectance are analysed in the paper. The calculting formula for coating thickness of ellip-soidal mirror is obtained in theory. The mask plate has been designed in terms of the calculat-ing coating thichness distribution and good reflecting property has been obtained.
Keywords:Ellipsoidal mirrors  Reflective films  Thickness  Uniformity  Reflectivity  
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