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| Pd在SnO2薄膜上的淀积、扩散及对气敏性能的影响 | |
| 引用本文： | 张天舒,曾宇平,沈瑜生.Pd在SnO2薄膜上的淀积、扩散及对气敏性能的影响[J].功能材料,1996,27(4):347-349. |
| 作者姓名： | 张天舒 曾宇平 沈瑜生 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学材料科学与工程系 |
| 摘 要： | 在Ａｒ气氛中于ＳｎＯ２薄膜表面溅射一层很薄的金属钯。用ＳＥＭ、ＡＥＳ及ＸＰＳ等分析表明，Ｐｄ在ＳｎＯ２表面以三维束状小岛方式生长，热处理后Ｐｄ迅速扩散到ＳｎＯ２膜内，形成掺杂型的气敏元件。在元件的表面存在大量的化学吸附氧，低温下（～１６０℃）对极为稳定的ＣＨ４有很高的灵敏度，认为可能与低温下吸附氧主要为α氧（Ｏ－２）有关。 |
| 关 键 词： | SnO2薄膜 淀积 气敏传感器 Pd掺杂 |
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