首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
Pd在SnO2薄膜上的淀积、扩散及对气敏性能的影响
作者姓名:
张天舒
曾宇平
沈瑜生
作者单位:
中国科学技术大学材料科学与工程系
摘 要:
在Ar气氛中于SnO2薄膜表面溅射一层很薄的金属钯。用SEM、AES及XPS等分析表明,Pd在SnO2表面以三维束状小岛方式生长,热处理后Pd迅速扩散到SnO2膜内,形成掺杂型的气敏元件。在元件的表面存在大量的化学吸附氧,低温下(~160℃)对极为稳定的CH4有很高的灵敏度,认为可能与低温下吸附氧主要为α氧(O-2)有关。
关 键 词:
SnO2薄膜
淀积
气敏传感器
Pd掺杂
本文献已被
CNKI
维普
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号