| 谐振式微加速度传感器的有限元分析 |
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| 引用本文： | 陈健,陈德勇. 谐振式微加速度传感器的有限元分析[J]. 传感技术学报, 2007, 20(1): 96-100 |
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| 作者姓名： | 陈健 陈德勇 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080;中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
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| 摘 要： | 有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析.
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| 关 键 词： | 微机械电子系统 谐振式微加速度传感器 有限元模拟 非完全匹配的双端固定音叉 |
| 文章编号： | 1004-1699（2007）01-0096-05 |
| 收稿时间： | 2006-01-05 |
| 修稿时间： | 2006-01-052006-01-19 |
Finite Element Analysis of Resonant Microaccelerometer |
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| Chen Jian,Chen Deyong. Finite Element Analysis of Resonant Microaccelerometer[J]. Journal of Transduction Technology, 2007, 20(1): 96-100 |
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| Authors: | Chen Jian Chen Deyong |
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| Affiliation: | State Key lab. of Transducer Tech. , Inst. of Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China |
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| Abstract: | FEA (finite element analysis) is used to evaluate a novel designed resonant microaccelerometer.Several major vibrating modes of the structure have been analyzed and a group of structural parameter has been optimized. FEA simulation asserts that the sensitivity of this silicon-based resonant microaccelerometer can be more than 1 000 Hz/gn. What is more, not perfectly matched DETF simulating practical situation after fabrication has been discussed and analyzed by FEA simulation. |
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| Keywords: | MEMS resonant microaccelerometer FEA simulation,not perfectly matched DETF |
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