| BaxSr（1—x）TiO3多层膜椭偏光谱研究 |
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| 引用本文： | 张曰理 S.U.Adikary 等.BaxSr（1—x）TiO3多层膜椭偏光谱研究[J].红外与毫米波学报,2003,22(1):13-17. |
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| 作者姓名： | 张曰理 S.U.Adikary |
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| 作者单位： | 1. 中山大学光电材料与技术国家重点实验室,物理系,广东,广州,510275
2. 香港理工大学,应用物理系和材料研究中心 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学(批准号021771),教育部留学回国人员科研启动基金和香港理工大学智能材料中心基金资助 |
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| 摘 要： | 用溶胶－凝胶技术在Bi(100）衬底上制备了单层和渐变型多层的BaxSr(1-X)TiO3薄膜，其膜层组分分别为：Ba0.7Sr0.3TiO3,Ba0.8Sr0.2TiO,Ba0.9Sr0.1TiO3,BaTiO3，对生长制备出的多层BaxSr(1-X)TiO3薄膜进行了变角度椭偏光谱测量，通过椭偏光谱解谱分析研究，首次得到了BaxSr(1-X)TiO3多层膜结构不同膜层的膜厚和光学常数，其结果显示：椭偏光谱分析得到的不同膜层的膜厚与卢瑟福背向散射测量得到的结果基本相符；渐变型多层膜中BaTiO3薄膜的折射率比单层BaTiO3薄膜折射率大许多，与体BaTiO3的折射率相接近，这说明渐变型多层膜中BaTiO3薄膜的光学性质与体材料的光学性质接近。
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| 关 键 词： | BaxSr（1－X）TiO3 多层膜 椭偏光谱 光学常数 钛酸锶钡 光学性质 |
| 收稿时间： | 2002/8/26 |
| 修稿时间： | 2002年8月26日 |
SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY STUDIES OF BaxSr(1-x)TiO3 MULTILAYER STRUCTURE |
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| ZHANG Yue-Li,MO Dang.SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY STUDIES OF BaxSr(1-x)TiO3 MULTILAYER STRUCTURE[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2003,22(1):13-17. |
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| Authors: | ZHANG Yue-Li MO Dang |
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| Abstract: | Ba xSr (1-x)TiO 3 single layer and graded multilayer structure films (Ba 0.7Sr 0.3TiO 3, Ba 0.8Sr 0.2TiO 3, Ba 0.9Sr 0.1TiO 3, BaTiO 3) deposited on si(100) substrate were prepared by sol-gel technique. The variable angle spectroscopic ellipsometric spectra of the Ba xSr (1-x)TiO 3 multilayer structure film were obtained in the spectral range of 380～800nm, and the thickness and refractive index of the Ba xSr (1-x)TiO 3 multilayer structure film were determined for the first time. The results show that the thickness of multilayer structure film from ellipsometric spectra is consistent with that from RBS, and the refractive index of BaTiO 3 film in multilayer is much larger than that in single layer, but closer to that in single crysal. |
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| Keywords: | Ba xSr (1-x)TiO 3 multilayer thin film spectroscopic ellipsometry optical constants |
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