新型二维并联柔性结构微动平台的设计

为克服串联式和现有并联式二维柔性微动平台的不足,基于Stewart并联机构思想来设计二维并联柔性微动平台的新构型。首先,基于结构简单紧凑、固有频率高、便于传感器安装等要求,采用Stewart并联机构并对其进行相应的结构改变,设计出了具有对称双圆弧薄板式弹性单元体的2-DOF并联柔性结构微动平台新构型;其次,采用有限元方法对平台的尺寸参数进行了优化,并对其静动态特性进行了仿真分析;最后,通过试验对平台的性能进行了测试。结果表明:在150 V电压下时,平台x和y方向的位移分别为22.88μm和23.25μm;平台x和y方向的固有频率分别为1.712 k Hz和1.706 k Hz;在10 N的阶跃输入力作用下,平台x和y方向的响应时间均约为20 ms。