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| 第十六讲 真空系统的操作与维护 | |
| 引用本文： | 张以忱. 第十六讲 真空系统的操作与维护[J]. 真空, 2010, 47(3) |
| 作者姓名： | 张以忱 |
| 作者单位： | 东北大学,辽宁,沈阳,110004 |
| 摘 要： | <正>(上接2010年第2期88页)系统操作时,可先用粗抽泵将真空室抽到200 Pa左右,然后启动低温泵的压缩机进行冷却,如果泵体是用氮气吹除过的,那么开始时聚集在吸附剂上的水蒸气是不多的。待泵冷却后及系统达到转换压力后,关闭粗抽阀并打开高真空阀,低温泵开始工作。 |
No.16:Operation and maintenance of vacuum systems |
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| ZHANG Yi-chen. No.16:Operation and maintenance of vacuum systems[J]. Vacuum(China), 2010, 47(3) | |
| Authors: | ZHANG Yi-chen |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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