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| 一台光电子能谱仪样品预处理装置 | |
| 引用本文： | 周建吾,蒋祖桁,何泽民.一台光电子能谱仪样品预处理装置[J].真空科学与技术学报,1983(3). |
| 作者姓名： | 周建吾 蒋祖桁 何泽民 |
| 作者单位： | 上海石油化工总厂研究院，上海石油化工总厂研究院，上海石油化工总厂研究院 |
| 摘 要： | 本文介绍了一台自行设计制造的光电子能谱仪样品预处理装置。其真空度可达4×10~(-9)托。烘烤温度可达150℃～200℃。精密细长进样杆具有PID温度自动调节系统。样品可加热到600℃,冷却到0℃以下。在保持高真空下可自动、点动快速进样。在预处理室容器上能安装氩离子枪、四极质谱计、样品蒸发喷镀、进气、速冷、观察、照明等多种附件,从而扩大了原光电子能谱仪的功能。 |
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