| 喷雾热分解法制备SnO2·F薄膜与导电性能研究 |
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| 引用本文： | 赵鹏,郝喜红,许启明,姚燕燕,田晓珍. 喷雾热分解法制备SnO2·F薄膜与导电性能研究[J]. 功能材料与器件学报, 2005, 11(2): 202-206 |
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| 作者姓名： | 赵鹏 郝喜红 许启明 姚燕燕 田晓珍 |
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| 作者单位： | 西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055;西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055;西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055;西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055;西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055 |
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| 基金项目： | 国家教育部重点基金项目(No.02188),西安市科技局产业化重点项目(No.ZS200217) |
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| 摘 要： | 以SnCl4·5H2O和NH4F为原料,采用喷雾热分解的方法在片状日用玻璃基材和石英玻璃基材上制得了掺氟氧化锡透明导电薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)分别对薄膜的内部结构和表面形貌进行了表征.研究了F-的掺杂量、喷涂温度、沉积时间和热处理对薄膜方阻R□的影响.实验结果表明,当[NH4F]/[SnCl4·5H2O]=32wt%、成膜温度为450℃、喷涂时间为15s时,可使所得薄膜的方阻R□达最低,为10Ω/□.
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| 关 键 词： | 掺氟二氧化锡薄膜 喷雾热分解 制备 导电性能 |
| 文章编号： | 1007-4252(2005)02-0202-05 |
| 修稿时间： | 2004-08-26 |
Preparation and electric property of fluorine - doped tin oxide thin films by spray pyrolysis process |
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| ZHAO Peng,HAO Xi-hong,XU Qi-ming,YAO Yan-yan,TIAN Xiao-zheng. Preparation and electric property of fluorine - doped tin oxide thin films by spray pyrolysis process[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2005, 11(2): 202-206 |
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| Authors: | ZHAO Peng HAO Xi-hong XU Qi-ming YAO Yan-yan TIAN Xiao-zheng |
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| Keywords: | fluorine-doped tin dioxide film spray pyrolysis preparation electric property |
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