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化学型旋片式真空泵
引用本文:乔力克.化学型旋片式真空泵[J].真空,1984(4).
作者姓名:乔力克
作者单位:机械工业部沈阳真空技术研究所
摘    要:目前,在我国各工业部门的真空工艺中,几乎都采用普通机械真空泵抽除含腐蚀性介质的气体,因而造成泵和泵油的腐蚀,严重影响了用户的经济效益。 随着我国科学技术水平的不断提高,国民经济的迅速发展,各工业部门尤其是电子工业,对耐腐蚀的真空系统的要求已相当迫切了。化学型旋片泵的空白已在一定程度上影响了我国某些工业部门的正常发展。 1983年;我国共生产各种型号的旋片泵35,000台左右。据估计,旋片泵生产总数的50%以上,要用于抽除含各种腐蚀性介质的气体。可见,研究和发展化学型旋片泵,已是一项很急迫的任务了。 所谓化学型真空泵,就是通…

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