| 复合离子镀膜技术制备Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC膜性能研究 |
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| 引用本文： | 马胜歌,于大洋,杨宏伟,张以忱.复合离子镀膜技术制备Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC膜性能研究[J].核技术,2008,31(2):111-114. |
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| 作者姓名： | 马胜歌 于大洋 杨宏伟 张以忱 |
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| 作者单位： | 1. 深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心,深圳,518029
2. 东北大学机械工程及自动化学院,沈阳,110004 |
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| 基金项目： | 深圳市科技计划项目资金 |
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| 摘 要： | 结合中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺,制备了Cr Ti TiNC/TiNC C/DLC硬质膜.硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和Cr的TiNC,力学性能良好.
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| 关 键 词： | 类金刚石膜 多层膜 非平衡磁控溅射 电弧离子镀 V射线光电子能谱仪 |
| 收稿时间： | 2007-06-05 |
| 修稿时间： | 2007-08-09 |
Properties of Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC films prepared by composite ion plating |
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| MA Sheng-ge,YU Da-yang,YANG Hong-wei,ZHANG Yi-chen.Properties of Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC films prepared by composite ion plating[J].Nuclear Techniques,2008,31(2):111-114. |
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| Authors: | MA Sheng-ge YU Da-yang YANG Hong-wei ZHANG Yi-chen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Diamond-like carbon film Multilayer films Unbalanced magnetron sputtering Cathode arc X-ray Photoelectron Spectroscopy |
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