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超精密空气静压主轴径向回转误差的测试研究
引用本文:彭万欢,赵午云,陶继忠,徐刚.超精密空气静压主轴径向回转误差的测试研究[J].制造技术与机床,2008(10).
作者姓名:彭万欢  赵午云  陶继忠  徐刚
作者单位:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川,绵阳,621900
基金项目:中国工程物理研究院重点发展基金  
摘    要:对超精密空气静压主轴回转误差测试过程中偏心的影响和作用原理进行了深入分析,指出了消除偏心时的一些误区,并提出了合适的偏心消除方法,设计了偏心调整装置,可使偏心调整到1 μm以下;采用两点法对圆度误差和回转误差进行分离,并用该方法直接测量圆度仪主轴的回转误差,得到了很好的效果,验证了测量原理.

关 键 词:空气主轴  回转误差  偏心

Study on Rotational Error Measurement of Ultra-precision Aerostatic Spindle
PENG Wanhuan,ZHAO Wuyun,TAO Jizhong,XU Gang.Study on Rotational Error Measurement of Ultra-precision Aerostatic Spindle[J].Manufacturing Technology & Machine Tool,2008(10).
Authors:PENG Wanhuan  ZHAO Wuyun  TAO Jizhong  XU Gang
Affiliation:PENG Wanhuan,ZHAO Wuyun,TAO Jizhong,XU Gang (Institute of Mechanical Manufacturing Technique,China Academy of Engineering Physics,Mianyang 621900,CHN)
Abstract:
Keywords:Aerostatic Spindle  Rotary Error  Eccentricity  
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