| 反应溅射制备NiOx薄膜的形貌与成分分析及其电致变色性能研究 |
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| 引用本文： | 彭寿,汤永康,金良茂,马立云,甘治平,金克武,王天齐,李刚.反应溅射制备NiOx薄膜的形貌与成分分析及其电致变色性能研究[J].硅酸盐学报,2018(10). |
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| 作者姓名： | 彭寿 汤永康 金良茂 马立云 甘治平 金克武 王天齐 李刚 |
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| 作者单位： | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司;蚌埠玻璃工业设计研究院;武汉理工大学现代汽车零部...;廊坊师范学院化学与材料科...;青岛理工大学机械工程学院...;宁夏大学物理与电子电气工...;东南大学国家预应力工程研...;河南科技大学材料科学与工...;云南师范大学;神华宁夏煤业集团有限责任...;河海大学土木与交通学院;;中建材蚌埠玻璃工业设计研... |
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| 摘 要： | 采用直流反应磁控溅射制备了具有不同表面形貌优良电致变色性能的NiOx薄膜。通过X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、场发射扫描电子显微镜、电化学工作站、紫外-可见-红外分光光度计研究了薄膜物相、价态组成、微观结构、电致变色性能。研究表明：金属镍靶在直流溅射过程中，对氧流量反应敏感，在很小的氧流量范围内即表现出完全不同的薄膜结晶状态与表面微结构的变化，氧化镍薄膜在不同的制备条件下展现出了独特的表面微结构，XRD结果显示薄膜成分为NiO，而通过薄膜元素XPS分析发现其中的Ni并非只有单纯的二价，三价的Ni亦存在且其元素价态比约为2:1。最终在成膜参数氧流量、电压、溅射压强、溅射功率分别为1.6sccm、2.0Pa、50W时获得较优变色性能的NiOx薄膜，其可见光区最大电致变色幅度达到约55%。
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