加热板温度场仿真优化设计

真空烘烤设备广泛应用于电子行业元器件的烘烤,除气及去应力等,加热板是真空烘烤设备的核心部件,其表面的温度均匀性是设备性能的重要指标。本文采用有限元软件,在300℃下,分别仿真了不锈钢加热板中加热元件的数量,加热元件的间距以及加热元件的功率对加热板温度场的影响规律,在此基础设计了应用于真空烘烤设备的加热板,试验证明其温度场均匀性满足±5℃的要求。