金属–半导体–金属结构非极性α-AlGaN深紫外探测器的制备 |
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引用本文: | 贾辉,徐建飞,石璐珊,梁征,张滢.金属–半导体–金属结构非极性α-AlGaN深紫外探测器的制备[J].硅酸盐学报,2018(9). |
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作者姓名: | 贾辉 徐建飞 石璐珊 梁征 张滢 |
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作者单位: | 公安海警学院基础部;宁波科技信息研究院研究中心;海纳国际集团 |
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摘 要: | 通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)高温外延生长的未掺杂非极性α-AlGaN半导体薄膜,制备了金属–半导体–金属(MSM)结构的深紫外光电探测器,研究了在α-AlGaN半导体薄膜表面磁控溅射不同时间的SiO_2纳米颗粒对α-AlGaN MSM结构的深紫外探测器性能的影响。结果表明:5 V偏压下,探测器光谱响应峰值提高了大约3个数量级,深紫外近可见抑制比高达104,具有很好的深紫外特性,同时暗电流也下降了2~3个数量级,磁控溅射SiO_2纳米颗粒提升了α-AlGaNMSM结构深紫外探测器性能。
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