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| 小型无油真空系统的试验 | |
| 作者姓名： | 吕泽 陈松涛 王尧义 陈蓉芳 |
| 作者单位： | 北京电子管厂，北京电子管厂，北京电子管厂，北京电子管厂 |
| 摘 要： | 一、前言在无产阶级文化大革命的推动下,电真空事业蓬勃发展,无油真空系统在电子器件上的应用日益广泛,不少单位有了实例。我们在一九七四年进行了试验。首先是用8升/秒的钛离子泵系统对FU-101大功率发射管进行排气试验。封离真空度在10~(-8)托,比现有的1000升/秒的油泵系统要高。随后又制作了30升/秒的钛离子泵和200升/秒的钛升华泵。并首先在 |
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