| 宽角度位相调控反射镜的设计与研制 |
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| 引用本文： | 李大琪,刘保剑,余德明,段微波,刘定权.宽角度位相调控反射镜的设计与研制[J].红外与激光工程,2024(4):223-230. |
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| 作者姓名： | 李大琪 刘保剑 余德明 段微波 刘定权 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料研究室;2. 上海市光学薄膜与光谱调控重点实验室;3. 复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系;4. 重庆理工大学机械工程学院 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划项目(2021YFB3701500)；;中国科学院青年创新促进会项目(2023248)~~； |
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| 摘 要： | 宽角度位相调控反射镜是下一代中高轨量子通信系统中的核心元件，用于宽角度范围内信号光的高效传递与偏振态的精确调控。基于等效多层膜理论，采用介质反射膜堆加非规整位相调控膜的膜系结构，设计了一种宽角度位相调控反射镜。选择Nb2O5和SiO2分别作为高、低折射率薄膜材料，通过误差分析，优化沉积工艺，采用电子束蒸发结合离子辅助沉积的方式，在德国莱宝Lab900-plus设备上制备出该薄膜元件。研制结果表明，反射镜在780 nm处、45°±7.5°入射范围内，其反射率大于99.3%，位相差控制在3°以内，满足量子通信系统的反射率及位相差控制要求，且通过相关环境模拟实验，满足可靠性要求，为该类偏振调控薄膜元件在下一代中高轨量子卫星中的工程应用打下了坚实的基础。
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| 关 键 词： | 光学薄膜 位相调控 反射镜 偏振 宽角度 |
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