EAST装置上差分抽气测量系统的设计

在托卡马克装置运行过程中，装置内壁吸附的杂质粒子会释放到内真空室，影响等离子体的平稳运行。因此需要在放电前对装置进行壁处理清洗。设计了差分抽气测量系统，可以在保持内真空室气体比例不变的前提下降低压力，实现四极质谱仪的正常工作，检测壁处理清洗期间的气体成分。整个设计过程围绕关键部件小流导法兰的流导设计展开，采用粒子平衡法计算得出小流导法兰的设计参数。可以在分子流流态下将待测腔室的气压从10 Pa降低至约0.01 Pa。设计结果为类似高压力条件下气体成分监测设备的设计提供参考。