| 金属镀层膜厚量值溯源方法的研究 |
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| 引用本文： | 朱小平,王蔚晨,杜华,叶孝佑.金属镀层膜厚量值溯源方法的研究[J].计量学报,2006,27(Z1):186-188. |
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| 作者姓名： | 朱小平 王蔚晨 杜华 叶孝佑 |
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| 作者单位： | 中国计量科学研究院,北京,100013 |
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| 摘 要： | 对金属镀层膜厚的不同测量方法进行了比较分析,提出通过设计台阶镀层和测量台阶高度的方法,实现镀层量值的直接溯源,并与X荧光分析测量法进行大量的比对测量试验,验证台阶镀层测量方法的正确性.
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| 关 键 词： | 计量学 镀层厚度 X荧光 台阶高度 溯源 |
| 文章编号： | 1000-1158(2006)3A-0186-03 |
| 修稿时间： | 2006年6月9日 |
Research of Traceability for Plated Thickness Measurement |
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| ZHU Xiao-ping,WANG Wei-chen,DU Hua,YE Xiao-you.Research of Traceability for Plated Thickness Measurement[J].Acta Metrologica Sinica,2006,27(Z1):186-188. |
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| Authors: | ZHU Xiao-ping WANG Wei-chen DU Hua YE Xiao-you |
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