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滑阀真空泵,罗茨真空泵及其真空机组
引用本文:谈治信.滑阀真空泵,罗茨真空泵及其真空机组[J].真空与低温,1997,3(2):118-120.
作者姓名:谈治信
作者单位:兰州物理研究所
摘    要:滑阀真空泵、罗茨真空泵及其真空机组谈治信(兰州物理研究所,兰州730000)分类号:TB752滑阀式真空泵(简称滑阀泵)和罗茨真空泵(简称罗茨泵)及其由该泵组成的真空机组近几年来随着真空冶金、真空热处理、真空冷冻干燥、真空镀膜等各种领域的发展需要而得...

关 键 词:真空泵  滑阀真空泵  罗茨真空泵
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