| 磁控溅射制备V2O5薄膜及全固态薄膜锂电池研究 |
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| 引用本文： | 王胜利,傅方樵,桑林,丁飞.磁控溅射制备V2O5薄膜及全固态薄膜锂电池研究[J].电源技术,2019,43(6). |
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| 作者姓名： | 王胜利 傅方樵 桑林 丁飞 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十八研究所化学与物理电源重点实验室,天津,300384;中国电子科技集团公司第十八研究所化学与物理电源重点实验室,天津,300384;中国电子科技集团公司第十八研究所化学与物理电源重点实验室,天津,300384;中国电子科技集团公司第十八研究所化学与物理电源重点实验室,天津,300384 |
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| 摘 要： | V_2O_5具有容量高、循环稳定、易于制备成薄膜等特点,是全固态薄膜锂电池理想的正极材料。采用磁控溅射法,以V_2O_5为靶材制备了薄膜,研究了溅射气体Ar/O_2对薄膜结构、形貌及电化学性能的影响,优化了薄膜制备工艺。最终采用磁控溅射法依次沉积集流体薄膜、钒氧化物薄膜、固态电解质薄膜,真空热蒸发金属锂薄膜,成功制备了Al/V_2O_5/Li P ON/Li/Cu全固态薄膜锂电池。薄膜电池在1.7～3.4 V电压范围内,以10μA/cm~2恒电流充放电测试,电池比容量达到25μAh/cm~2,稳定循环超过500次。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 V2O5薄膜 全固态薄膜锂电池 |
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