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| 适合ArF准分子激光光刻的紫外光学材料 | |
| 作者姓名： | 思源 |
| 摘 要： | 东北大学金属材料研究所的福田承生教授等找到了适合 Ar F准分子激光光刻的透镜、窗口材料Li Ca Al F6。高质量的 Li Ca Al F6单晶波长 1 93 nm的 Ar F准分子激光有望作为下一代光刻光源。然而 ,据称过去的透镜材料和窗口材料在这一波段却不能使用。研究组发现 ,新材料 Li Ca Al F6对紫外光有高承受能力 ,最短透过波长 1 1 2 nm,具有优异的紫外透过特性。 Li Ca Al F6加工性能优异 ,有望作为光学材料。试制的晶体大小如照片所示 ,预计能得到半导体曝光装置的透镜所需大小的晶体适合ArF准分子激光光刻的紫外光学材料@思源… |
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