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硅基M×N型微环阵列谐振滤波器的理论分析
引用本文:闫欣,马春生,徐元哲,王现银,鄂书林,张大明. 硅基M×N型微环阵列谐振滤波器的理论分析[J]. 半导体学报, 2005, 26(11): 2223-2229
作者姓名:闫欣  马春生  徐元哲  王现银  鄂书林  张大明
作者单位:吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春 130012;吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春 130013;吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春 130014;吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春 130015;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春 130021;吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春 130017;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春 130021
基金项目:国家科技攻关项目 , 科技部科研项目 , 中国科学院"百人计划"
摘    要:对硅基M行N列微环谐振滤波器的传输特性进行了理论分析,给出了M×N微环阵列谐振滤波器光强传递函数的通用公式.在1.55μm谐振波长下对其传输特性进行了数值模拟,计算结果表明,行数M取为奇数且行数M、列数N越大时,其谐振峰越平坦越陡峭,具有较好的滤波特性.选择M=5,N=10,谐振峰的3dB带宽约为0.35nm.

关 键 词:集成光学  滤波器  微环阵列  传递函数  传输光谱  硅基  微环阵列  微环谐振滤波器  理论  分析  Analysis  Theoretical  Silicon  Array  带宽  选择  滤波特性  列数  奇数  结果  计算  数值模拟  谐振波长  通用公式  传递函数
文章编号:0253-4177(2005)11-2223-07
修稿时间:2004-12-16

Theoretical Analysis of M×N Microring Resonator Array on Silicon
Yan Xin,Ma Chunsheng,Xu Yuanzhe,Wang Xianyin,E Shulin and Zhang Daming. Theoretical Analysis of M×N Microring Resonator Array on Silicon[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 26(11): 2223-2229
Authors:Yan Xin  Ma Chunsheng  Xu Yuanzhe  Wang Xianyin  E Shulin  Zhang Daming
Affiliation:State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Changchun 130012,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Changchun 130013,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Changchun 130014,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Changchun 130015,China;State Key Laboratory on Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130021,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Changchun 130017,China;State Key Laboratory on Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130021,China
Abstract:
Keywords:integrated optics  wavelength filter  microring array  transfer function  transmission spectrum
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