具有混合晶圆流的单臂组合设备建模及调度

为有效提高组合设备利用水平与工作效率,研究在单臂组合设备上实现不同种类晶圆混合加工的问题。建立独立于具体晶圆流的单臂组合设备Petri网模型,该模型能准确描述不同晶圆流模式下系统的运行过程。基于拉式调度策略和周期调度的思想,推导出单臂组合设备在混合晶圆流下能形成稳定周期性加工的条件。然后依据约束条件建立系统的线性规划模型,获得稳态的周期调度。运用虚拟晶圆方法实现所得调度,并给出调度的甘特图。最后,以晶圆制造的数据作为算例验证了模型和调度的有效性。