半绝缘多晶硅在高可靠大功率硅开关三极管中的应用 |
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引用本文: | 张京俊,邹秋芝.半绝缘多晶硅在高可靠大功率硅开关三极管中的应用[J].电子工艺技术,1994(4):16-18,21. |
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作者姓名: | 张京俊 邹秋芝 |
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作者单位: | 哈尔滨晶体管厂 |
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摘 要: | 介绍了掺氧半绝缘多晶硅(O一SIPOs)及掺氮半绝缘多晶硅(N一SIPOS)薄膜的制备方法,生长条件及其在高可靠大功率开关三极管3DK106中的应用,以及主要电参数的测试结果,并且对本工艺所带来的特点进行了初步分析。
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关 键 词: | 半绝缘多晶硅 大功率 开关晶体管 |
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