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半绝缘多晶硅在高可靠大功率硅开关三极管中的应用
作者姓名:
张京俊 邹秋芝
作者单位:
哈尔滨晶体管厂
摘 要:
介绍了掺氧半绝缘多晶硅(O一SIPOs)及掺氮半绝缘多晶硅(N一SIPOS)薄膜的制备方法,生长条件及其在高可靠大功率开关三极管3DK106中的应用,以及主要电参数的测试结果,并且对本工艺所带来的特点进行了初步分析。
关 键 词:
半绝缘多晶硅 大功率 开关晶体管
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