| 晶片传输系统中切边探测和预对准技术 |
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| 引用本文： | 杨兴平.晶片传输系统中切边探测和预对准技术[J].电子工业专用设备,2003,32(1):43-47. |
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| 作者姓名： | 杨兴平 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,东燕郊,101601 |
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| 摘 要： | 介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术。
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| 关 键 词： | 投影光刻 晶片传输 切边 探测 机械预对准 光学预对准 |
| 文章编号： | 1004-4507(2003)01-0000-00 |
| 修稿时间： | 2002年12月8日 |
The OF Detection and the OF Prealignment Technology Of Wafer Loader System |
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| YANG Xing-ping.The OF Detection and the OF Prealignment Technology Of Wafer Loader System[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2003,32(1):43-47. |
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| Authors: | YANG Xing-ping |
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| Abstract: | Mostly introduction the OF detection and the OF prealignment technology of the Wafer Loader system in the Projection-Lithography equipment. |
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| Keywords: | Projection Lithography Wafer loader Orientation flat (OF) Detection Machine prealignment Optical prealignment |
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