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| 真空灭弧室真空度测量和校验方法的探讨 | |
| 作者姓名： | 王会友 何维娜 李文艺 王晓琴 孙淑萍 |
| 作者单位： | 天津平高智能电气有限公司,天津300304 |
| 摘 要： | 本文从真空灭弧室真空度测量的意义入手，介绍了真空度离线和在线测量的技术现状和成果，并侧重分析了脉冲磁控放电法存在的问题和基于该原理制造的真空度测试仪的校验方法，最后探讨了真空度测量技术的发展方向。 |
| 关 键 词： | 真空灭弧室 真空度测量 校验 脉冲磁控放电法 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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