平面子孔径拼接干涉测量精度分析 |
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引用本文: | 卢云君,唐锋,王向朝,郭福东.平面子孔径拼接干涉测量精度分析[J].中国激光,2018(4). |
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作者姓名: | 卢云君 唐锋 王向朝 郭福东 |
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作者单位: | 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室 |
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摘 要: | 如何提高子孔径拼接干涉测量精度是子孔径拼接系统的关键问题。针对一维平面子孔径拼接系统,分别采用两两拼接算法和误差均化拼接算法,进行拼接位移台定位误差、参考面面形误差和随机噪声对拼接精度影响的数值仿真与分析。仿真结果表明,对于平面拼接系统,参考面高阶误差、随机噪声对拼接精度影响较小,高阶误差的影响略大于随机噪声的影响;参考面低阶误差(二阶项误差)在拼接过程中会累积放大,是平面拼接干涉测量的主要误差来源,误差均化拼接算法不能有效控制参考面低阶误差的拼接累积误差;两两拼接算法与误差均化拼接算法得到基本相同的拼接结果。对450mm×60mm的平面镜进行了15个子孔径的拼接测量,去除参考面低阶误差面形前后,拼接结果与大口径干涉仪的测量结果偏差从λ/3峰谷值(PV),λ=632.8nm]减小至λ/45(PV)。
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