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退火温度对Bi_2Te_(2.7)Se_(0.3)薄膜的微结构及热电性能的影响
引用本文:段兴凯,江跃珍,宗崇文,侯文龙.退火温度对Bi_2Te_(2.7)Se_(0.3)薄膜的微结构及热电性能的影响[J].材料科学与工程学报,2011(4).
作者姓名:段兴凯  江跃珍  宗崇文  侯文龙
作者单位:九江学院机械与材料工程学院新能源材料研究中心;九江学院电子工程学院;
基金项目:江西省教育厅科技资助项目(GJJ11625); 2010九江学院大学生自主创新性实验资助项目(10XSCXXSY26)
摘    要:采用瞬间蒸发技术在温度为473 K的玻璃基体上沉积了厚度为800 nm的N型Bi2Te2.7Se0.3热电薄膜,并在373 K~573 K进行1小时的真空退火处理。利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和能量散射谱(EDS)分别对薄膜的物相结构、表面形貌以及化学计量比进行表征。采用表面粗糙度测量仪测定薄膜厚度,薄膜的电阻率采用四探针法在室温下进行测量,在室温下对薄膜的Seebeck系数进行表征。霍尔系数,电子浓度和迁移率在300 K用Van der Pauw方法进行测量。退火温度为473 K时,电阻率和Seebeck系数分别为2.7 mΩ.cm和?180μV/K,热电功率因子最大值为12μW/cmK2。

关 键 词:退火温度  热电薄膜  热电性能  瞬间蒸发法  

Effects of Annealing on Microstructure and Thermoelectric Properties of Bi_2Te_(2.7)Se_(0.3) Thin Films
DUAN Xing-kai,JIANG Yue-zhen,ZONG Cong-wen,HOU Wen-long.Effects of Annealing on Microstructure and Thermoelectric Properties of Bi_2Te_(2.7)Se_(0.3) Thin Films[J].Journal of Materials Science and Engineering,2011(4).
Authors:DUAN Xing-kai  JIANG Yue-zhen  ZONG Cong-wen  HOU Wen-long
Affiliation:DUAN Xing-kai1,JIANG Yue-zhen2,ZONG Cong-wen1,HOU Wen-long2(1.Center for New Energy Materials Research,School of Mechanical and Materials Engineering,Jiujiang University,Jiujiang 332005,China,2.School of Electronic Engineering,China)
Abstract:
Keywords:annealing temperature  thermoelectric thin films  thermoelectric properties  flash evaporation  
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