| 基于DSP的宽动态范围莫尔条纹计数与精密细分技术 |
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| 引用本文： | 刘国淦,张学军,王权陡,张忠玉,郭培基,张峰,齐涤菲,苏绍景,吕海宝,李圣怡.基于DSP的宽动态范围莫尔条纹计数与精密细分技术[J].光学精密工程,2001,9(2):146-150. |
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| 作者姓名： | 刘国淦 张学军 王权陡 张忠玉 郭培基 张峰 齐涤菲 苏绍景 吕海宝 李圣怡 |
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| 作者单位： | 1. 中科院长春光学精密机械与物理研究所
2. 国防科技大学机电工程研究所, |
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| 基金项目： | 国防科技重点实验室基金资助项目! (99js5 3.8.1KG0 117) |
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| 摘 要： | 为莫尔条纹的计数与细分提供了一种基于DSP(数字信号处理器)的高速软件解决方案。它能有效的解决传统系统中计数电路与细分功能不能无缝匹配的问题,提高测量的准确性。由于采用了高速信号处理和闪烁采样技术,采用该方案的系统能处理宽动态范围的莫尔条纹信号。提供的实例能对从直流到1MHz的莫尔条纹信号进行计数与细分,对于1μm光学分辨率的光栅测长系统来说,其相应的最高测量速度为1000mm/s,细分步长可以达到nm级。
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| 关 键 词： | 位移测量 莫尔条纹 计数细分 数据采集 |
| 文章编号： | 1004-924X(2001)02-0146-05 |
| 收稿时间： | 2000-10-27 |
| 修稿时间： | 2000年10月27 |
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