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| 轰击能量对离子束增强沉积Cr—N薄膜微观结构和硬度的影响 | |
| 作者姓名： | 王兵 李文治 |
| 作者单位： | [1]中国工程物理研究院北京研究生部 [2]清华大学材料科学与工程系 |
| 摘 要： | 采用离子束增强沉积（ＩＢＥＤ）技术，在不同能量氮离子的轴助轰击下制备了Ｃｒ－Ｎ薄膜，通过ＳＥＭ观察、ＸＲＤ分析和显微硬度测定，发现离子轰击能量对Ｃｒ－Ｎ薄膜的表面形貌、相组成和硬度有显著的影响；随着能量的升高，膜表明形貌由岛形颗粒状转变成蜂窝状；一定能量轰击下获得的Ｃｒ２Ｎ和ＣｒＮ混相结合有最高的薄膜硬度；高达１６ｋｅＶ的氮离子轰击可诱发非晶化的出现，并对膜有一定的强化作用。在此基础上探讨了离子轰 |
| 关 键 词： | 离子束增强沉积 轰击能量 氮化铬 薄膜 |
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